中國大陸首塊氧化物TFT液晶屏(18.5英寸HD Oxide TFT-LCD)及首塊氧化物AMOLED顯示屏(4英寸WQVGA Oxide AMOLED)在京東方研發(fā)成功,同時,相關工藝技術(shù)及設計開發(fā)也已完成。這標志著我國氧化物TFT背板技術(shù)研制已經(jīng)達到業(yè)界先進水平,也將進一步推動我國在AMOLED等新型顯示產(chǎn)品的研制進程。
氧化物TFT即Oxide TFT背板技術(shù),是與傳統(tǒng)a-Si TFT制程相近的背板技術(shù),它將原本應用于a-Si TFT的硅半導體材料部分置換成氧化物半導體(現(xiàn)在應用最廣泛的是a-IGZO(amorphous Indium Gallium Zinc Oxide, 銦鎵鋅氧化物)來形成TFT 半導體層。
氧化物TFT相對于a-Si TFT具有制備溫度要求低,遷移率高等優(yōu)勢,可應用于高頻顯示和高分辨率顯示產(chǎn)品,且相對于低溫多晶硅TFT制造領域具有設備投資成本低、運營保障成本低等優(yōu)點。
特別值得一提的是,氧化物TFT還是AMOLED新型顯示技術(shù)研發(fā)制造的關鍵技術(shù)。AMOLED顯示要解決量產(chǎn)、大尺寸制造等問題,首先需要解決的就是TFT背板開發(fā)問題。氧化物TFT技術(shù)的成功開發(fā)彌補了大尺寸AMOLED背板技術(shù)的缺陷,勢必成為推動AMOLED顯示產(chǎn)品進一步量產(chǎn)化的關鍵技術(shù)。而應用Oxide TFT技術(shù)的液晶屏及AMOLED顯示屏,其綜合性能將遠高于同類a-Si TFT產(chǎn)品。
京東方是我國規(guī)模最大的光電顯示技術(shù)、產(chǎn)品與解決方案的提供商,在氧化物TFT背板技術(shù)、AMOLED新型顯示等領域已取得多項重點專利,處于國際領先水平。據(jù)介紹,在此基礎上,京東方已著手開發(fā)高遷移率、高穩(wěn)定性的新半導體材料,并進一步推進高分辨率氧化物液晶顯示及大尺寸AMOLED的技術(shù)研發(fā)及量產(chǎn)儲備。