8月15日,由深圳市壹倍科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“壹倍科技”)自主研發(fā)與生產(chǎn)的Micro LED晶圓級(jí)AOI巨量檢測(cè)設(shè)備順利交付至Micro LED巨量轉(zhuǎn)移領(lǐng)域頭部客戶。至此,壹倍科技已完成該產(chǎn)品線的多批次成功交付,達(dá)成了該領(lǐng)域頭部客戶群的基本覆蓋。
本次發(fā)貨的用于Micro LED芯片的AOI量檢測(cè)設(shè)備,采用超寬場(chǎng)、高NA、顯微線掃光學(xué)成像系統(tǒng)與高通量圖像處理算法,結(jié)合系統(tǒng)誤差整合分析和校準(zhǔn)技術(shù)、運(yùn)動(dòng)與圖像像質(zhì)的自適應(yīng)補(bǔ)償技術(shù),可以對(duì)Micro LED工藝制程中的COW以及巨量轉(zhuǎn)移前后的COC的晶圓進(jìn)行全面的精細(xì)檢查,同時(shí)具備亞微米級(jí)的全局位移量檢出能力,因此可以有效地對(duì)巨量檢測(cè)轉(zhuǎn)移工序良率進(jìn)行監(jiān)測(cè)和管控。基于近幾年在產(chǎn)線實(shí)踐過(guò)程中針對(duì)巨量芯粒檢測(cè)(單wafer超億顆芯片)的數(shù)據(jù)分析和處理經(jīng)驗(yàn),壹倍科技掌握的Micro LED檢測(cè)技術(shù)可在數(shù)分鐘內(nèi)檢測(cè) Micro LED COW (chip on wafer)或COC (chip on carrier)晶圓上數(shù)千萬(wàn)顆芯粒的缺陷檢測(cè)或位置量測(cè),最小可檢出亞微米級(jí)的缺陷和偏移。
壹倍科技于2022年7月推出了國(guó)內(nèi)首套Micro LED晶圓級(jí)PL巨量檢測(cè)設(shè)備,在2023年初通過(guò)頭部客戶的驗(yàn)收,隨后獲得該客戶批量重復(fù)訂單。自2023年下半年,壹倍科技不斷獲得Micro LED行業(yè)領(lǐng)域頭部客戶群訂單,并迅速進(jìn)入量產(chǎn)階段, 截至今日已完成多批次多臺(tái)套訂單的穩(wěn)定持續(xù)的交付工作。
壹倍科技針對(duì)下游客戶在COC巨量轉(zhuǎn)移段的高通量的芯粒位置量測(cè)和缺陷檢測(cè)需求,結(jié)合了PL、AOI及其他自主開(kāi)發(fā)光學(xué)檢測(cè)技術(shù),已全面具備面向Micro LED行業(yè)晶圓級(jí)檢測(cè)場(chǎng)景提供全鏈條量產(chǎn)解決方案的能力。未來(lái)壹倍將持續(xù)攻堅(jiān)晶圓級(jí)檢測(cè)核心技術(shù),致力于為Micro LED顯示行業(yè)的規(guī);慨a(chǎn)以及大幅降本貢獻(xiàn)重要力量!
近日,多家Micro LED設(shè)備廠商官宣交貨。例如,8月1日,海目星宣布首條Micro LED中試線于順利出貨,涵蓋Micro LED巨量轉(zhuǎn)移、Micro LED巨量焊接、Micro LED激光修復(fù)等設(shè)備,并已完成廠內(nèi)FAT驗(yàn)收。考拉悠然自主研發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)玻璃基Micro LED晶圓量檢測(cè)設(shè)備正式完成出貨,邁為股份最新一代Micro LED激光剝離設(shè)備(LLO)和Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備(LMT)成功完成樣品驗(yàn)證并順利交付。