LG開發(fā)Micro LED巨量轉(zhuǎn)移良率達(dá)99.99%

    5月6日消息，來自韓國LG電子材料與器件高級研究中心的研究人員在《自然》（nature）雜志上發(fā)表了一篇論文，提出了一種新的Micro LED巨量轉(zhuǎn)移方案，可在15分鐘內(nèi)完成RGB三色LED的轉(zhuǎn)移，轉(zhuǎn)移良率達(dá)99.99%。

    論文指出，Micro LED技術(shù)正在商業(yè)化應(yīng)用于數(shù)字標(biāo)牌等大尺寸顯示屏上，且LED與顯示行業(yè)正在針對Micro LED的其他應(yīng)用開展研發(fā)計劃，如AR/VR設(shè)備、柔性顯示屏、生物成像等。

    然而，目前Micro LED在巨量轉(zhuǎn)移環(huán)節(jié)上仍面臨阻礙，需提高效率、良率以及適配第10代以上（2,940 × 3,370 mm?）玻璃基板的生產(chǎn)能力，Micro LED技術(shù)才能進入主流產(chǎn)品市場并與液晶和OLED顯示器進行競爭。

    為提高Micro LED的巨量轉(zhuǎn)移效率，論文提出了一種基于流體自組裝（fluidic self-assembly（FSA））技術(shù)的新巨量轉(zhuǎn)移方法，稱作磁力輔助介電泳自組裝技術(shù)（magnetic-force-assisted dielectrophoretic self-assembly technology（MDSAT）），該技術(shù)結(jié)合了磁力和介電泳（DEP）力，可實現(xiàn)紅光，綠光和藍(lán)光Micro LED的同時轉(zhuǎn)移，且在15分鐘內(nèi)的轉(zhuǎn)移良率為99.99%。

    磁力輔助介電電泳自組裝（MDSAT）技術(shù)原理具體來看，該轉(zhuǎn)移技術(shù)的工作原理是通過在Micro LED中嵌入可由磁鐵控制的鎳，并以受體孔為中心施加局部介電泳（DEP）力，因此Micro LED可被有效地抓取并組裝在受體位點。

    DEP力與Micro LED組裝方式和轉(zhuǎn)移良率的關(guān)系此外，研究人員在論文中展示了如何通過Micro LED和受體之間的形狀匹配，進行RGB三色Micro LED的同時組裝。

    形狀不匹配缺陷的顯微鏡圖像和示意圖以及DEP力和轉(zhuǎn)移產(chǎn)量的變化作為受體孔高度的函數(shù)

無源矩陣微發(fā)光二極管Micro LED面板的圖像，I-V特性和RGB光譜

    最后，研究人員通過新轉(zhuǎn)移技術(shù)制造出了一個無源矩陣發(fā)光面板，具有無損傷轉(zhuǎn)移特性和均勻的RGB電致發(fā)光特性。研究人員表示，上述特性證明MDSAT技術(shù)是優(yōu)秀的巨量轉(zhuǎn)移候選方案，可助力未來主流Micro LED商業(yè)產(chǎn)品的大批量生產(chǎn)。