給予反射光路的LCOS投影機的核心器件就是LCOS芯片。該芯片的基本結構是CMOS的背板電路上覆蓋液晶分子涂布層。
LCOS芯片也可以算作液晶顯示技術的一種。只不過,與一般薄膜晶體管液晶顯示(即我們常見的液晶顯示器、液晶電視的液晶顯示系統(tǒng),Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display;TFT-LCD)面板上、下兩面均以玻璃做為基板不同,而LCoS則僅有上面采用玻部,底部的基本則以半導體材料硅為主的控制電路芯片。
LCOS投影技術芯片的結構
LCOS芯片從下向上的第一層是硅基的IC芯片,采用互補金氧化半導體(Complementary Metal-Oxide Semiconductor;CMOS)工藝制造。在CMOS上面為拋光的鋁鍍層,用于提供電極和光線反界面射面。在鋁金屬層上要涂布液晶分子,并采用網(wǎng)格狀的框架分割成像素。LCOS芯片最上面一層是透明ITO電極和玻璃基板層。LCOS芯片結構中,采用現(xiàn)代CMOS制造工藝的IC驅(qū)動層是整塊芯片的控制中樞。
從像素結構上講,LCOS芯片背面的CMOS有源顯示驅(qū)動矩陣為每一個像素提供了包括開關(NMOS晶體管)、存儲電容和在它們上面的鋁反射電極。工作的時候,NMOS晶體管控制列數(shù)據(jù)線對液晶像素充電,而存儲電容中的充電電荷建立了相對于控制電極的電壓差。于是上部的液晶分子按照電壓取向和強度進行偏轉(zhuǎn),從而控制出入光線的多少,形成灰階圖像。
LCOS芯片的典型像素的截面如圖3所示,采用了四層金屬,分別用于掃描線、數(shù)據(jù)線、避光層和鋁反射鏡面電極,一層液晶層,一層ITO透明電極以及一層玻璃基板。