(1)在制作硅片上
①需在單晶硅基片上制成X-Y像素矩陣下的有源矩陣;
②需在每個有源像點(diǎn)上制成一個要有一定一致性的補(bǔ)償電容;
③制作遮光層;
④制作1~2μm的盒厚襯墊;
⑤像素表面化學(xué)拋光;
⑥像素表面蒸鍍反光層;
⑦硅片上的外引線連接。
(2)在制作液晶盒上
①特殊零件的凈化操作;
②1~2μm盒厚的控制與封接技術(shù);
③理想的液晶分子定向工藝技術(shù);
④薄盒的液晶灌注技術(shù);
⑤顯示模塊制造工藝技術(shù)。
3.3特殊的設(shè)計(jì)技術(shù)
特殊的設(shè)計(jì)技術(shù)包括液晶與IC的綜合設(shè)計(jì)與制版。
3.4特殊的檢測技術(shù)
特殊的檢測技術(shù)是控制LCoS質(zhì)量之關(guān)鍵,LCoS需有一些不同于普通IC和LCD的特殊電參數(shù)與光參數(shù)的檢測技術(shù)。還需有專業(yè)測試分析軟件,其中包括數(shù)據(jù)回放軟件、時域分析軟件及頻域分析軟件。